在多晶硅的生產過程中，鹽類廢水處理是一重要的環節。

在生產多晶硅的過程中，通常會產生大量的廢氣和殘液。廢氣中主要含有大量的HCI、SiHCls、Cl2、SiCl、H、N等氣體，而殘液中主要含有氯化烷和微量硅粉。
由于氯硅烷極易容易水解，通常采用稀的氫氧化鈉溶液淋洗氯硅烷殘液和氯硅烷氣體，還有少量的氯化氫，使氯硅烷和氯化氫全部水解中和，生成氯化鈉和硅膠的混合物。硅膠在經過攪拌機攪拌后通過渣漿泵被送去壓濾機進行固液分離操作，濾渣運送到渣場統一堆放。

分離出的硅膠經刮板機刮出后送入污泥收集池，之后再用潛水式污泥泵將沉底的硅膠打入到攪拌池內，經攪拌后被送入到壓濾機在進行固液的分離。
去除掉硅膠的工業廢水是鹽類廢水，這些廢水一般呈酸性，酸堿度值大約為2。

廢水經過酸堿中和，之后經蒸發，結晶，過濾把鹽類提取出來。經過處理后的水會返回到生產中循環使用。

在鹽類廢水處理時常用薄膜蒸發器，三效蒸發器和四效蒸發器等設備用于鹽類的蒸發濃縮，利用蒸發濃縮的原理，將廢水中的水分蒸發掉，鹽類中NaCl顆粒結晶析出，在經過過濾操作使廢水和NaCl分離。蒸發出來的水蒸氣外排掉或者經過冷凝回流到生產裝置中實現循環利用。